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La nanolithographie
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La nanolithographie

Landis, Stefan
La lithographie a été centrale dans le progrès de l'industrie du semiconducteur en permettant de réduire les tailles de motifs et d'augmenter la densité d'intégration des circuits intégrés à un ... lire la suite

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La lithographie a été centrale dans le progrès de l'industrie du semiconducteur en permettant de réduire les tailles de motifs et d'augmenter la densité d'intégration des circuits intégrés à un coût économiquement acceptable. Des progrès sont à attendre dans ce domaine, que ce soit en termes de résolution atteinte, de densité d'intégration et de capacité à produire des structures complexes.
9782746224469
100000 Produits

Auteur : Landis, Stefan

Date de parution : 12/03/2010

Éditeur : Lavoisier
Lavoisier-Hermès

Collection : Traité EGEM, Génie électrique

Classification : Technologie des communications

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